国家/地区 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(3) B(2) H(2)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) B32B(2) B82Y(2)
C01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年 2012(2)
申请年 2011(3)
专利权人