| 国家/地区 | 中国(2) 美国(2) |
| IPC部 |
C(3)
B(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
C23(3)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
B32B(2)
B82Y(2)
C01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C23C016/26(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2012(2) |
| 申请年 |
2011(3)
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| 专利权人 |
ZENASNI A, CORAUX J, IVANOVAHRISTOVA V, LANDIS S, PERNEL C
