国家/地区 韩国(3) 美国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) C23C(2)
IPC C01B031/02(2) C23C016/26(2) C23C016/44(2)
H01L029/78(2)
发明人 CHO B J(2) JEON S(2) LEE J(2)
OH S(2)
公开年 2012(4)
申请年 2012(4)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(4)