国家/地区 中国(5) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(4) C23(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(2)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(2)
发明人 JIANG M(5)
公开年 2012(3) 2013(2)
申请年 2012(5)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)