国家/地区 韩国(4) 美国(3)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 H01L(4)
IPC C01B031/02(2)
发明人 HONG J(2) HONG J M(2) KIM H S(2)
LIM J A(2) SONG Y(2) SONG Y W(2)
公开年 2014(3)
申请年 2013(4)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)