| 国家/地区 | 美国(2) |
| IPC部 |
B(2)
|
| IPC大类 |
B32(2)
|
| IPC小类 |
B32B(2)
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2) |
| IPC |
C01B031/04(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 |
2013(2)
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| 专利权人 |
SHIN H, CHOI J, HAN G, LEE Y
