| 国家/地区 | 美国(3) |
| IPC部 | C(4) H(2) |
| IPC大类 |
C01(4)
|
| IPC小类 |
C01B(4)
C23C(4)
C30B(4)
H01L(2) |
| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2015(2) |
| 申请年 |
2014(4)
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| 专利权人 |
BABUL T, OBUCHOWICZ Z, KOWALSKI S, BLASZCZYK J
