国家/地区 中国(2)
IPC部 H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L045/00(2)
发明人 BANERJEE W(2) BENAGI R(2) LIU M(2)
LIU Q(2) LV H(2) SUN H(2)
ZHANG K(2)
公开年
申请年 2015(2)
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(2)