国家/地区 | 韩国(3) 美国(3) 中国(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)
C01B(3)
B32B(2)
C25D(2) C30B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C014/34(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2016(4) |
申请年 |
2016(4)![]() |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J