国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C25(5) C23(4) H01(4)
C01(3)
IPC小类 C25D(5)
IPC C23C014/34(3) C23C016/26(3) C01B031/04(2)
C23C016/02(2) C25D005/50(2) C25D005/54(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(5)
专利权人