国家/地区 中国(2) 美国(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C23(4) H01(3) B82(2)
C01(2) C04(2)
IPC小类 C23C(4) B82Y(2) C01B(2)
C04B(2) H01L(2)
IPC C23C014/06(4)
发明人
公开年 2020(2) 2021(2)
申请年 2019(4)
专利权人