国家/地区 | 中国(2) 美国(2) |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C23(4)![]() |
IPC小类 |
C23C(4)
B82Y(2)
C01B(2)
C04B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C014/06(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2020(2) 2021(2) |
申请年 |
2019(4)![]() |
专利权人 |
YANG Y, ZHANG F, XIA L, LI F