国家/地区 英国(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C01(2)
IPC小类 C01B(2)
IPC C01B032/186(2) C23C016/26(2) C30B025/18(2)
C30B029/02(2) H01L021/02(2)
发明人 DIXON S(2) GUINEY I(2) THOMAS S(2)
公开年
申请年 2021(2)
专利权人 PARAGRAF LTD(2)