国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 | C23C(3) H01L(2) |
IPC |
C23C014/08(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2022(3) |
申请年 |
2022(3)![]() |
专利权人 |
LAN S, HU P, JIANG T, BI F, LI H