国家/地区 韩国(2) 美国(2)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2)
发明人 AHN J(2) AHN J R(2)
公开年 2014(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 AHN J(2)