| 国家/地区 | 韩国(3) |
| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 | H01(3) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
| IPC |
C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
H01L051/00(2) |
| 发明人 | CHO K W(3) LEE E(2) |
| 公开年 |
2020(3)
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| 申请年 | 2019(3) |
| 专利权人 |
CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(3)
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