国家/地区 韩国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C23（2）
IPC小类 C23C（2）
IPC C23C016/40（2） C23C016/455（2）
发明人
公开年 2022（2）
申请年 2022（2）
专利权人 DAEGU GYEONGBUK INST SCI TECHNOLOGY（2）

Optical device comprises a substrate having multiple waveguides spaced apart from each other with a predetermined gap into a chamber, and depositing a metal oxide on each of the waveguide through an atomic layer deposition method.

HAN S, JAE P Y

Producing zinc-titanium oxide composite membrane, comprises e.g. forming a titanium oxide film on a substrate using a first sub-cycle, and forming a zinc oxide layer on the titanium oxide layer using a second sub cycle.

LEE J, KIM D, SUNG S J, KANG C, PARK S, YANG K J