国家/地区 韩国（2）
IPC部 H（2）
IPC大类 H01（2）
IPC小类 H01L（2）
IPC
发明人 LEE J（2）
公开年 2022（2）
申请年
专利权人 DAEGU GYEONGBUK INST SCI TECHNOLOGY（2）

Producing zinc-titanium oxide composite membrane, comprises e.g. forming a titanium oxide film on a substrate using a first sub-cycle, and forming a zinc oxide layer on the titanium oxide layer using a second sub cycle.

LEE J, KIM D, SUNG S J, KANG C, PARK S, YANG K J

Method for forming nanopores of two-dimensional material structure, involves forming nanopore in thickness direction with respect to structure.

LEE J, HYE J M, LEE S H