国家/地区 韩国(3) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) H01(2)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C016/26(2) C23C028/00(2)
发明人 CHOI C G(2)
公开年
申请年
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(3)