国家/地区 中国(3) 台湾(3) 美国(3)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L033/00(3) H01L033/02(3) H01L033/12(2)
发明人 FAN S(3) WEI Y(3)
公开年 2013(3)
申请年 2012(3) 
专利权人 FAN S(3)