| 国家/地区 | 日本(3) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
H(3)
B(2)
C(2)
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| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | C01B031/04(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2010(3)
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| 申请年 | 2009(2) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(3)
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