国家/地区 日本(3) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2)
发明人
公开年 2010(3)
申请年 2009(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(3)