| 国家/地区 | 日本(2) 美国(2) |
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B031/02(2)
H01L021/02(2)
H01L021/04(2)
H01L021/336(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/778(2) H01L029/786(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) H01L051/40(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2015(2)
|
| 申请年 |
2015(2)
|
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(2)
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SATO S, JIPPO H, OHFUCHI M, OFUCHI M
