国家/地区 日本(3)
IPC部 H(3) G(2)
IPC大类 H01(3) G01(2)
IPC小类 H01L(3) G01J(2)
IPC G01J001/02(2)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3)
专利权人 FUJITSU LTD(3)