国家/地区 韩国(4) 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(3) H(3) B(2)
IPC大类 H01(3) B01(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC C01B032/186(2) H01L021/324(2)
发明人 HAM M(4)
公开年
申请年 2018(2) 
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(4)