国家/地区 中国(2)
IPC部 G(2) H(2)
IPC大类 H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L045/00(2)
发明人 XU X(2)
公开年
申请年 2020(2)
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(2)