国家/地区 中国(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C01(2)
IPC小类 C01B(2)
IPC C01B032/194(2)
发明人 JIE X(2) LI N(2) LU W(2)
XIA Y(2)
公开年 2021(2)
申请年 2019(2)
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(2)