国家/地区 韩国(9) 世界知识产权组织(3) 美国(2)
IPC部 C(8) B(5) H(2)
IPC大类 C01(7) B01(4) B82(3)
C09(2) H01(2)
IPC小类 C01B(7) B01J(3) B82B(3)
H01L(2)
IPC C01B031/02(7) B01J019/12(3) B82B003/00(3)
C01B031/04(3)
发明人 OH I K(3) BAE S H(2) JEON S W(2)
KIM H(2) KIM H J(2) OH I(2)
U JEON S(2) VADAHANAMBI S(2)
公开年 2013(6)
申请年 2012(5)  2011(3) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(9)