国家/地区 韩国(16) 世界知识产权组织(4)
IPC部 C(14) B(10) H(8)
G(2)
IPC大类 C01(12) H01(8) B01(7)
B82(2) C23(2) G01(2)
IPC小类 C01B(12) B01J(7) H01B(4)
H01L(3) B82B(2) C23C(2)
G01N(2) H01G(2)
IPC C01B031/02(12) H01B001/04(3) B01J019/08(2)
B01J019/10(2) B01J019/12(2) B82B003/00(2)
C23C016/26(2)
发明人 FEI L(3) SEO T S(3) CHOI I S(2)
LEE K J(2) MIN D H(2) OH I K(2)
VADAHANAMBI S(2)
公开年 2013(16)
申请年 2011(16)
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(16)