国家/地区 韩国(7) 美国(6) 世界知识产权组织(6) 中国(2)
IPC部 B(4) C(4) H(3)
G(2)
IPC大类 C01(4) B82(3) H01(3)
B01(2) C23(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(3) B01J(2)
B82B(2) B82Y(2) C23C(2)
IPC C01B031/02(4) B82B003/00(2) C01B031/04(2)
C23C016/26(2) C23C016/44(2) H01L029/78(2)
发明人 CHO B J(2) JEON S(2) LEE J(2)
OH I(2) OH I K(2) OH S(2)
公开年 2012(4) 2013(4)
申请年 2012(8)
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(8)