国家/地区 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(3) B(2) H(2)
IPC大类 C01(3) C23(3) B01(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) B01J(2)
H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C23C016/26(3) C23C016/44(2)
发明人 JEON S(2) LEE J(2) OH S(2)
公开年 2012(3)
申请年 2012(2) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(3)