| 国家/地区 | 韩国(3) 美国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
H(3)
B(2)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(3)
C01(2)
C23(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
C01B(2)
C23C(2)
|
| IPC |
C01B031/02(2)
C23C016/26(2)
C23C016/44(2)
H01L029/78(2) |
| 发明人 |
CHO B J(2)
JEON S(2)
LEE J(2)
OH S(2) |
| 公开年 |
2012(4)
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| 申请年 |
2012(4)
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| 专利权人 |
KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(4)
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SONG H, CHO B, SEO S, SHIN W, SONG H J, CHO B J, SEO S A, SHIN W C, SONG C, SIN W
CHO B J, PARK J K
JEON S, LEE J, OH S, RAN O S, SEOP L J, U JEON S, JIN S L, SE R O, SEOK W J
