| 国家/地区 | 韩国(3) |
| IPC部 |
B(2)
C(2)
H(2)
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| IPC大类 |
C01(2)
C23(2)
H01(2)
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| IPC小类 |
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2)
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| IPC | C01B031/02(2) |
| 发明人 |
HWANG J O(3)
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| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | 2012(2) |
| 专利权人 |
KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(3)
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CHOI Y J, HWANG J O, JEONG S J, KIM B H, KIM J Y, KIM S O, SHIN D O
