国家/地区 韩国(3)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) C23(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2)
发明人 HWANG J O(3)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(3)