国家/地区 中国(5)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/02(2) C01B031/04(2) H01L029/16(2)
H01L029/78(2) H01L029/786(2)
发明人 CHO B(2) CHO B J(2)
公开年 2012(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(5)