国家/地区 美国(5)
IPC部 H(4) B(3) C(2)
IPC大类 H01(4) B82(3) C01(2)
C23(2)
IPC小类 H01L(4) B82Y(3) C01B(2)
C23C(2)
IPC H01L029/78(3) B82Y099/00(2) C01B031/02(2)
C23C016/26(2) H01L021/336(2) H01L029/786(2)
发明人 CHO B J(3)
公开年 2012(5)
申请年 2012(3)  2011(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(5)