| 国家/地区 |
美国(5)
|
| IPC部 |
H(4)
B(3)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(4)
B82(3)
C01(2)
C23(2) |
| IPC小类 |
H01L(4)
B82Y(3)
C01B(2)
C23C(2) |
| IPC |
H01L029/78(3)
B82Y099/00(2)
C01B031/02(2)
C23C016/26(2) H01L021/336(2) H01L029/786(2) |
| 发明人 | CHO B J(3) |
| 公开年 |
2012(5)
|
| 申请年 | 2012(3) 2011(2) |
| 专利权人 |
KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(5)
|
SONG H, CHO B, SEO S, SHIN W, SONG H J, CHO B J, SEO S A, SHIN W C, SONG C, SIN W
CHO B J, PARK J K
