国家/地区 韩国（2）
IPC部 B（2） C（2）
IPC大类 B01（2） C01（2）
IPC小类 B01J（2） C01B（2）
IPC B01J019/24（2） C01B031/02（2）
发明人
公开年 2015（2）
申请年 2013（2）
专利权人 KOREA RES INST STANDARDS SCI（2）

Inductive heating graphene forming apparatus comprises dielectric tube, induction heating coil, alternating current power supply to provide alternating current on induction heating coil and heating block heated by induction heating coil.

JUNG H K, YONG H S, SHINJAE Y, DAE J S, JOO I L, YONG S Y

Apparatus useful for etching graphene comprises a vacuum chamber, a reaction gas inlet port to pass reaction gas inside of vacuum chamber, stage provided with graphene pattern layer, and a sensor to sense graphene pattern layer temperature.

BAE M H, LEE T H, KIM N, HA D H