国家/地区 韩国(5) 美国(5) 中国(4) 世界知识产权组织(3)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
IPC大类 H01(4) C01(2) C23(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(2) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2) C01B031/04(2)
发明人 CHOI M(3) JUNG M(3) MOON J(3)
KIM T(2) KIM T H(2)
公开年 2014(5)
申请年 2014(5)
专利权人 LG ELECTRONICS INC(5)