| 国家/地区 |
美国(4)
|
| IPC部 |
C(4)
B(3)
H(2)
|
| IPC大类 |
B82(3)
C01(3)
B32(2)
C04(2) C23(2) H01(2) |
| IPC小类 |
B82Y(3)
C01B(3)
B32B(2)
C04B(2) C23C(2) H01L(2) |
| IPC |
B82Y040/00(3)
B82Y030/00(2)
C01B031/04(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2) |
| 发明人 |
LIN I(4)
SUNG C(4)
SONG J(3)
HU S C(2) LIN H(2) LIN Y(2) YU C(2) |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | 2012(2) |
| 专利权人 |
LIN I(4)
|
SUNG C, HU S C, LIN I, YU C
SUNG C, LIN I, LIN H, LIN Y, SONG J
SUNG C, LIN I, LIN H, LIN Y, SONG J
