国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4) B(3) H(2)
IPC大类 B82(3) C01(3) B32(2)
C04(2) C23(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(3) C01B(3) B32B(2)
C04B(2) C23C(2) H01L(2)
IPC B82Y040/00(3) B82Y030/00(2) C01B031/04(2)
C04B035/583(2) C04B035/622(2) C04B035/653(2)
C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 LIN I(4) SUNG C(4) SONG J(3)
HU S C(2) LIN H(2) LIN Y(2)
YU C(2)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 LIN I(4)