国家/地区 美国（2）
IPC部 B（2） C（2）
IPC大类 B82（2） C23（2）
IPC小类 B82Y（2） C23C（2）
IPC C23C016/26（2）
发明人 LIN Y（2）
公开年 2013（2）
申请年 2012（2） 
专利权人 LIN Y（2）

Method for synthesizing e.g. graphene film using chemical vapor deposition-type furnace for electronics application, involves positioning two support fixtures in reaction chamber, and unloading substrate from support fixtures.

LI X, LIN Y, SUNG C

Growing graphene by chemical vapor deposition used in electronics involves disposing metals and dielectric substrates in reactor, where gap is formed between them/introducing and heating reaction gases/depositing graphene films on substrate.

TENG P, LIN Y, CHIU P, TENG P Y, LIN Y C, CHIU P W