国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 C(4) B(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3) B01(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(3)
IPC H01L051/00(2) H01L051/44(2)
发明人 KONG J(2)
公开年 2017(3)
申请年 2017(2) 
专利权人 MASSACHUSETTS INST TECHNOLOGY(5)