| 国家/地区 |
日本(3)
|
| IPC部 | C(3) H(2) |
| IPC大类 | C23(2) H01(2) |
| IPC小类 | C23C(2) |
| IPC | |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(3) |
| 申请年 |
2020(3)
|
| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)
|
MURAKAMI K, NAGAO M, KATSUHISA M, MASAYOSHI N
ISHIHARA S, NAKANISHI T, HONG D
