国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2)
IPC
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)