| 国家/地区 | 日本(4) |
| IPC部 | C(4) H(3) |
| IPC大类 | C01(4) H01(3) |
| IPC小类 | C01B(4) H01L(3) |
| IPC |
H01L035/22(3)
H01L035/34(3)
C01B032/194(2)
|
| 发明人 |
KIRIHARA K(4)
|
| 公开年 | 2021(3) |
| 申请年 | 2019(2) |
| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)
|
HORIIE S, KIRIHARA K, MUKODA M, WEI Q Y, KATO Y, MONOBE H, SUGINO T
KIRIHARA K, MAMORU K, OKIKAWA Y, ISHIHARA S, MUKODA M, HASEGAWA M
KIRIHARA K, HORIIE S, MUKODA M, WEI Q S
