国家/地区 日本(2) 台湾(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2)
发明人 SATO S(2)
公开年 2014(2)
申请年
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)