国家/地区 | 日本(2) 台湾(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 | C(2) H(2) |
IPC大类 | C01(2) H01(2) |
IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
IPC |
C01B031/02(2)![]() |
发明人 | SATO S(2) |
公开年 |
2014(2)![]() |
申请年 | |
专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)![]() |
YAMAGUCHI J, SATO S, YAMADA H, TANAKA K, YAMADA Y