国家/地区 | 日本(3) |
IPC部 | C(3) H(3) |
IPC大类 | C01(3) H01(3) |
IPC小类 | C01B(3) H01L(2) |
IPC |
C01B032/194(3)![]() |
发明人 | HASEGAWA M(2) |
公开年 | 2021(2) |
申请年 |
2020(3)![]() |
专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)![]() |
ITASAKA H, MIMURA K, LIU Z, KATO K
KIRIHARA K, MAMORU K, OKIKAWA Y, ISHIHARA S, MUKODA M, HASEGAWA M