国家/地区 | 日本(2) |
IPC部 | C(2) |
IPC大类 | C01(2) C23(2) |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC | C23C016/26(2) |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 |
2015(2)![]() |
专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)![]() |
UEKUSA K, SHIMADA N, YAZAWA K, YAMADA T, HASEGAWA M, SHIMADA NAYUTA, YAZAWA KENJI, YAMADA TAKATOSHI, HASEGAWA MASATAKA, UEKUSA KAZUTERU