国家/地区 日本(3) 美国(2)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2) C01B032/182(2) H01L021/28(2)
发明人
公开年 2015(3)
申请年 2014(3)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)