| 国家/地区 | 日本(3) 美国(2) |
| IPC部 |
B(2)
C(2)
H(2)
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| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B031/02(2)
C01B032/182(2)
H01L021/28(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2015(3)
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| 申请年 |
2014(3)
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| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)
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SHIOYAMA H, SAKURAI H, XU Q, KIUCHI M, KIMURA Y, MU C
