国家/地区 日本(2)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01R(2)
IPC C23C028/00(2)
发明人 KUBO T(2) OKADA M(2) SHIMIZU T(2)
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)