| 国家/地区 |
日本(2)
|
| IPC部 | H(2) |
| IPC大类 | H01(2) |
| IPC小类 | H01L(2) |
| IPC |
H01L029/06(2)
H01L029/16(2)
H01L029/66(2)
H01L029/786(2) |
| 发明人 | SATO S(2) |
| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 |
2014(2)
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| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(2)
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SATO S, YAMADA A, YAGI K, TAKAHASHI M
