| 国家/地区 |
美国(3)
|
| IPC部 |
B(2)
C(2)
H(2)
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| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | C01B031/02(2) H01L029/06(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 |
2013(3)
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| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)
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SATO S, KONDO D, SATO M, NIHEI M, KONDO T
