国家/地区 日本(3)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2) C01B032/182(2) H01L029/06(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/786(2)
发明人 SATO S(2)
公开年 2014(2)
申请年 2014(3)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)