| 国家/地区 |
日本(3)
|
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC |
C01B031/02(2)
C01B032/182(2)
H01L029/06(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/786(2) |
| 发明人 | SATO S(2) |
| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 |
2014(3)
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| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(3)
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SHIOYAMA H, SAKURAI H, XU Q, KIUCHI M, KIMURA Y, MU C
SATO S, YAMADA A, YAGI K, TAKAHASHI M
