| 国家/地区 |
日本(3)
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| IPC部 |
C(3)
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| IPC大类 | C01(3) H01(3) |
| IPC小类 |
C01B(3)
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| IPC |
C01B031/02(2)
H01L021/336(2)
H01L029/06(2)
H01L029/786(2) |
| 发明人 |
OKAI M(3)
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| 公开年 | 2011(2) |
| 申请年 | 2010(2) |
| 专利权人 |
OKAI M(3)
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OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S
