| 国家/地区 | 韩国(3) |
| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 |
C23(3)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
|
| IPC |
C23C016/26(2)
C23C016/455(2)
H01L021/02(2)
H01L029/16(2) |
| 发明人 | CHO K W(2) |
| 公开年 | 2020(2) |
| 申请年 | 2019(2) |
| 专利权人 |
POSTECH ACADIND FOUND(3)
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CHO K, YOO M S, LEE H C, CHO K W, ZHAO J, YU M, LI X
