国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C016/26(2) C23C016/455(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 CHO K W(2)
公开年 2020(2)
申请年 2019(2) 
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(3)